徠卡顯微鏡掃描圖像的聚焦是靠調節末透鏡的激勵電流來實現的。調焦的實質是使電子束聚成的zui細束斑剛好落在樣品面上。這樣逐點掃報形成的像是zui清晰的。徠卡顯微鏡在檢查樣品是否已調焦，應該采用高一檔的放大倍數，并力求在圖像中呈現出盡可能多的細節。

 

影響圖像清晰度而可以設法校正的一種像差是保散。和透射電鏡中一樣，掃描電鏡鏡簡的下部也裝有一個消像散器。應該認真調節消像器才能保證得到好的圖像。如果像散量過大消像散器的校正場已不足補償其缺陷，就必須盡快清洗電鏡的光路區，尤其是本透鏡和末光闌部分。

 

徠卡顯微鏡的掃描電鏡的主要功能是顯示塊狀樣品的表面形態。為使凹凸不平的樣品表面能全域清晰成像，對徠卡顯微鏡掃描電鏡的景深就有一定要求。掃描電鏡中樣品以下沒有任何透鏡，電子光學系統的焦深就是電鏡允許樣品清晰成像的景深。所以焦深和景深這兩個述語在這里可以任意運用。實際上圖像的清晰度常由人肉眼的分辨率或熒光屏記錄圖像的分辨率來判定。

 

備注：徠卡顯微鏡的聚焦系統由北京中儀光科科技有限公司編輯整理上傳。